■開催年月日：平成17年1月24日 ■開催NO：第33回 ■演題：「半導体微細加工技術で作るＭＥＭＳ（微小電気機械システム）の産業展開」 ■講師： 東北大学未来科学技術共同研究センター 教授 江刺 正喜 氏 ■場所：機械振興会館
